磁流体密封应用哪些设备
拓荆创益取得检漏工装及检漏装置专利,实现对磁流体或冷却支座密封...金融界2024年11月8日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司取得一项名为“一种检漏工装及检漏装置”的专利，授等会说。 所述第一检漏接口具有适配磁流体的第一密封面的第一口径，用于覆盖所述第一密封面，所述第二检漏接口设于所述第一检漏接口之后，并具有适等会说。
理想晶延取得一种真空腔内旋转台专利,密封效果显著磁流体传动轴连接载台和中空旋转平台的输出端并贯穿半导体薄膜沉积设备的侧壁，使得中空旋转平台能够驱动载台转动。本实用新型的一种真空腔内旋转台，中空旋转平台设置于半导体薄膜沉积设备的外侧，磁流体传动轴连接载台和中空旋转平台，密封效果显著，便于维修，成本低，能够适应后面会介绍。
无锡富创得申请应用于真空环境的机械手装置专利,实现机械手能够在...无锡富创得精密设备有限公司申请一项名为“一种应用于真空环境的机械手装置”的专利，公开号CN 118927222 A,申请日期为2024年8月。专利摘要显示，本申请提供了一种应用于真空环境的机械手装置，包括机械手组件、第一底座、第二底座、第一密封传动结构、磁流体传动组件、第小发猫。
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