磁流体密封在半导体中应用
拓荆创益取得检漏工装及检漏装置专利,实现对磁流体或冷却支座密封...金融界2024年11月8日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司取得一项名为“一种检漏工装及检漏装置”的专利，授小发猫。 所述第一检漏接口具有适配磁流体的第一密封面的第一口径，用于覆盖所述第一密封面，所述第二检漏接口设于所述第一检漏接口之后，并具有适小发猫。
微磁完成数千万元战略融资,华义创投领投钛媒体App 9月20日消息，半导体磁流体密封传动装置国产头部供应商浙江微磁半导体科技有限公司，成功完成数千万天使轮融资。本轮融资主要由华义创投领投。本轮融资主要用于磁性流体功能材料和磁流体密封模组研发、生产、销售，及义乌产业基地扩产建设，加速推动国内磁流体密封后面会介绍。
理想晶延取得一种真空腔内旋转台专利,密封效果显著磁流体传动轴连接载台和中空旋转平台的输出端并贯穿半导体薄膜沉积设备的侧壁，使得中空旋转平台能够驱动载台转动。本实用新型的一种真空腔内旋转台，中空旋转平台设置于半导体薄膜沉积设备的外侧，磁流体传动轴连接载台和中空旋转平台，密封效果显著，便于维修，成本低，能够适应说完了。
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