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晶盛机电申请一种抛光设备及检测方法专利,达到了实时检测抛光垫及...浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“一种抛光设备及检测方法“公开号CN202410868193.6,申请日期为2024 年7 月。专利摘要显示，本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备及检测方法，包括：抛光盘，所述抛光盘具有工作面；抛光垫，所述抛光垫粘接设置于所述工小发猫。

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